精密机械与精密仪器系
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赵 钢

 

1977年12月生,博士,讲师

现任工程科学学院党委副书记

 

电  话:  0551-63600214

E-mail: fvc@ustc.edu.cn

主 页:  http://staff.ustc.edu.cn/~fvc/

【主要研究方向】

 微机电系统(MEMS)设计、制造及应用

 生物微机电系统(BioMEMS):微环境对细胞行为调控的研究

 生物医学工程:基于微加工的仿体制备和检测

 

【教育经历】

 1996.9-2001.7 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系本科 ,获机械设计制造及其自动化专业学士学位

 2001.8-2007.12 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系硕博连读,获仪器科学与技术博士学位

 

【工作经历】

 2002.7 起 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系工作,历任助教、讲师

 其中2010.4-2012.4 日本产业技术综合研究所 特别研究员

 

【主要讲授课程】

 本科课程《工程光学1》

 研究生课程《微机电系统设计与制造》

 

【承担科研项目】

 自然科学基金青年基金《基于微探针的热机械式高分子纳米结构加工机理研究》(50805137),2009年—2011年

 教育部基本科研业务费青年创新基金《基于微结构的细胞力学行为调控系统的预研》,2015年—2016年

 技术合作开发项目《SOI埋氧层应力对高灵敏微臂悬梁制作的影响机理研究》,2013年—2015年

 

【主要论著】

1. Fabrication and characterisation of piezoelectric microcantilever array with carbon nanotube tips assembled by nano-handling

 2014.03 International Journal of Nanomanufacturing 10 265-280;

2.Fabrication and Characterization of Piezoelectric Cantilever Array with Nano-assembly Carbon Nanotube Tips 2012.08 

Proceedings of 2012 INTERNATIONAL CONFERENCE ON MANIPULATION, MANUFACTURING AND MEASUREMENT ON THE NANOSCALE (3M-NANO)  292-296;

3. Pattern buried oxide in silicon-on-insulator-based fabrication of floppy single-crystal-silicon cantilevers 2011.04 

Micro Nano Lett.  Vol. 6, No. 4 240-243;

4. Mass-loading effect on quality factor of floppy silicon microcantilever in free air space 2011.02 Micro Nano Lett.

 Vol. 6, No. 2 62-65;

5. Al doped poly-Si micro-heater for thermomechanical fabrication of micro/nano structure 2011.01 Guangxue Jingmi

Gongcheng/Optics and Precision Engineering Vol.19 No.1 124-131;

6. Size and mass loading effect on quality factor of single-crystal silicon cantilever in atmosphere 2010.08 

Proceedings of SPIE Vol.7544 754462(1-6);

7. Fabrication of cantilevers with high yield for magnetic resonance force microscopy 2010.01 Proc. of 5th IEEE

International Conference on NEMS  633-636

8. 《应用光学试题与解析》 中国科学技术大学出版社 2010.07


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