微纳米材料及系统的制备、检测和标准化：研究微纳米材料、器件及系统的特性、设计、加工、表征以及相关应用。特色研究包括飞秒激光双光子三维微细加工，压电探针阵列及超高密度存储，碳纳米管阵列的热界面材料的研制及环境纳米材料等。

研究人员：

褚家如　  付绍军　  王晓杰　  孔徳义　  吴东　  赵旸　  胡衍雷　  杨良保　  陈宇航　  黄文浩　  李宝庆　  李木军　  李静　  李家文　  沈连婠　  王克逸　  王翔　  文莉　  赵刚