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大数值孔径物镜下的高均一性并行激光微加工

   中科大微纳米工程实验室吴东教授课题组利用空间光调制器SLM调制实现了多焦点飞秒激光在大数值孔径物镜下的高均一性的并行微纳加工,在保证加工效率的前提下,提高了大数值孔径物镜下的多焦点加工的均一性。研究成果以题为” Highly uniform parallel microfabrication using large numerical aperture system”在国际期刊Applied Physics Letters(SCI二区, IF=3.14)上在线发表。

 

   相对于传统的飞秒激光加工方法,利用SLM能够针对不同的目标图案对入射激光动态调制生成对应的多焦点阵列,在光学,微纳加工以及生物学等方面有着广泛的应用。对于普通SLM并行激光加工方法存在的高数值孔径物镜下加工结构均一性低的问题。本研究提出一种改进算法,使得在数值孔径为1.35的浸油物镜下,加工结果的均一性从75%左右提高到95%以上,使得并行激光加工技术在高数值孔径物镜的加工系统中仍能有着广泛的应用。该研究工作受到国家科技部、自然基金委、国家青年千人项目等的资助。

论文链接:

http://scitation.aip.org/content/aip/journal/apl/109/2/10.1063/1.4955477


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