中科大微纳米工程实验室吴东教授课题组利用空间光调制器SLM调制实现了多焦点飞秒激光在微流控芯片中集成3D功能性器件，在保证了飞秒激光高精度的同时，大大的减少了集成3D结构的时间。研究成果以题为“High efficiency integration of three-dimensional functional microdevices inside a microfluidic chip by using femtosecond laser multifoci parallel microfabrication”在英国Nature出版集团的子刊Scientific Reports(SCI 2区，IF=5.578)上在线发表。
微流控芯片技术被誉为21世纪7大技术之一，该技术的优点表现在：超低的试剂消耗，价格低廉，高集成，可携带以及小型化等等，广泛应用在化学、生物、医学以及药理学中。传统的微流控芯片加工方法受限于2D芯片加工，对3D微流控芯片或者3D功能化微器件集成面临巨大挑战，导致了芯片功能化的限制。为了实现芯片的优异功能，该课题组利用了飞秒激光与SLM的结合实现了微流控芯片3D微结构的高效率集成。该方法具有程序可设计性、灵活性、高精度、以及高效率。为了集成高精度的3D微结构，该工作研究了一些重要参数对加工结果的影响，最后高效率高精度的集成了3D功能性器件（过滤器）到芯片中，并研究了该芯片的细胞过滤性能。该方法大大的提高了集成芯片的效率，同时保证了高精度，有望应用到微流控芯片和光流体芯片集成中，实现具有更先进功能的微芯片。
吴东教授和胡衍雷副教授作为共同通讯作者，精密机械与精密仪器系博士生许兵为第一作者。研究工作受到国家科技部、自然基金委、国家青年创新人才项目等的资助。
论文链接：http://www.nature.com/articles/srep19989
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