文莉 副教授
工学博士 硕士生导师
地址：中国科学技术大学精密机械与精密仪器系(230027)
电话：0551-63600214
个人简介：
文莉副教授于1995年获安徽工程大学机械工程系学士学位，2002年获合肥工业大学机械工程系硕士学位，2012年获中国科学技术大学精密机械与精密仪器系博士学位。2012年任中国科技大学精密机械与精密仪器系副教授。2014年3月至2015年3月任美国南加州大学电子工程系访问学者。作为项目负责人，主持并完成了国家自然科学青年基金项目（2007-2009），以及中央高校基本科研业务费青年创新基金项目（2011-2012）。在研国家自然科学基金面上项目（2014-2017）及国家自然科学基金合作项目（2013-2016）各一项。在国外期刊、国内核心期刊和重要的国际会议上发表学术论文近50篇。
主要研究方向：
微纳米加工技术，微等离子体技术及应用，微纳机电系统