中国科大精密机械与精密仪器系“系友论坛”第十期线上 讲座成功举办

为加强中国科大精密机械与精密仪器系全球系友的联系与交流,2022年7月17日,中国科大精密机械与精密仪器系“系友论坛”第十期线上讲座成功举行。本次讲座邀请9909系友、南方科技大学副教授汪飞做“从机械到微机械,从科大到南科大“报告,报告由9509系友陈颖芳主持。

报告伊始,汪飞系友从自己的成长之路谈起。他出身于当涂县,自小在农村长大,在村里上的小学,镇上读的初中,在县一中念的高中,后以优异的成绩考入中国科学技术大学精密机械与精密仪器系。在读期间,汪飞系友受黄文浩、褚家如老师的影响,对微机械产生了巨大的兴趣,2003年本科毕业后,选择在上海微系统与信息技术研究所攻读博士学位,毕业后前往丹麦科技大学从事博士后研究,一步一步将自己的视野从农村开拓到世界范围,并最终选择回国任教。

接下来,汪飞系友介绍了自己的研究方向。博士期间,汪飞系友聚焦在MEMS探针卡领域,探针被广泛应用在芯片中的管脚测试,然而,当时在芯片上安装探针需要用到手工的方式,随着芯片管脚密度的提升,手工安装的精度无法适用于日益减少的管脚间距,因此,面向下一代探针卡,汪飞系友利用MEMS微纳加工方法制作了三种不同应用的探针卡结构,这一系列工作也获得该领域权威的认可。博士后期间,汪飞系友结合力学知识,解决了L型微型探针对样品表面损伤的问题,并且积极与企业合作,针对半导体中的载流子浓度测试,提出新的探针方案,解决了以往探针需要多次重复测试的问题,使得仅需一次按压就可以得到样品的电学性能。此外,除了对探针研究领域的继续耕耘,汪飞系友在这一时期也将目光瞄准到传感器领域,将微纳加工手段与多模光纤结合制作传感器,通过MEMS手段制作静电式的振动能采集器,这些也为回国后的研究奠定了基础。

在南方科大任教期间,汪飞系友本着创造自供能无线传感网络的愿景,在微能源与微传感领域积极创新。在微能源方面,汪飞系友团队通过结构设计,将振动能源采集器的能量输出密度和带宽均提高到了国际领先水平。为了拓展采集器的应用场景,团队设计新型结构将振动频率转向了低频,使得采集器可应用在众多功能性器件中,如为温湿度传感器供电。值得一提的是,最近,汪飞系友团队积极合作,将采集器与智能拐杖集成,实现对使用人位置与姿态变化的监测,该研究对高龄人群的安全监护有积极的作用。在微传感领域,汪飞系友团队设计了多种气体传感器,如酒精、丙酮、氨气传感器等,其中,丙酮气体传感器可有效对糖尿病做出前期预测,而氨气传感器则可反映出肠道健康状况。在长期研究过程中,汪飞系友也将目光放到了算法方面,微能源与微传感的研究离不开各种算法的应用,而利用算法,汪飞系友团队更是开发了一套传感器晶圆级自动测试系统,实现了在4寸晶圆上自动扫描,30分钟内可读取出1万多颗器件的电阻。

报告最后,汪飞系友从发展沿革、学校规模、专业类别、校园环境、招生方式、培养方式与毕业去向等几个方面介绍了南方科技大学,南方科技大学以工学学科为主体,拥有独特的“631”招生模式,着重培养学生的创知、创新与创业能力。

在互动交流环节,与会系友积极提问交流,汪飞系友就微机械产品的实用性、自供能器件、气体传感器的需求、采集器的采集效率、能量采集器与传感器集成、全自供电气体监测等问题进行了认真解答,反响热烈。


报告人简介:

汪飞,PB9909,南方科技大学副教授,主要研究兴趣在MEMS/NEMS传感器、微型能量采集技术、半导体材料与芯片测试技术等。2003年从中国科学技术大学毕业获得工学学士学位,2008年,从中国科学院上海微系统与信息技术研究所获得微电子学与固体电子学博士学位,随后加入丹麦技术大学微米与纳米技术系,先后担任博士后研究员(2008-2010)和助理教授(2010-2013),2013年回国加入南方科技大学,目前担任Micromachine杂志编委,并担任Transducers会议的执行程序委员会委员和IEEE MEMS会议的程序委员会委员等。

汪飞博士累计承担国家重点研发计划(课题负责人)、国自然面上、广东省杰青等10多项研究课题,发表学术论文200余篇,并获得国内国际发明专利15项,2018年获得深圳市青年科技奖。