1977年12月生,博士,副教授
现任校党委学生工作部副部长、学生工作处副处长
电话:0551-63600214
E-mail:fvc@ustc.edu.cn
主 页:http://staff.ustc.edu.cn/~fvc/
主要研究方向
微机电系统(MEMS)设计、制造及应用
生物微机电系统(BioMEMS):微环境对细胞行为调控的研究
生物医学工程:基于微加工的仿体制备和检测
教育经历
1996.9-2001.7 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系本科 ,获机械设计制造及其自动化专业学士学位
2001.8-2007.12 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系硕博连读,获仪器科学与技术博士学位
工作经历
2002.7 起 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系工作,历任助教、讲师
其中2010.4-2012.4 日本产业技术综合研究所 特别研究员
主要讲授课程
本科课程《工程光学1》
研究生课程《微机电系统设计与制造》
承担科研项目
自然科学基金青年基金《基于微探针的热机械式高分子纳米结构加工机理研究》(50805137),2009年—2011年
教育部基本科研业务费青年创新基金《基于微结构的细胞力学行为调控系统的预研》,2015年—2016年
技术合作开发项目《SOI埋氧层应力对高灵敏微臂悬梁制作的影响机理研究》,2013年—2015年
主要论著
1. Fabrication and characterisation of piezoelectric microcantilever array with carbon nanotube tips assembled by nano-handling
2014.03 International Journal of Nanomanufacturing 10 265-280;
2.Fabrication and Characterization of Piezoelectric Cantilever Array with Nano-assembly Carbon Nanotube Tips 2012.08
Proceedings of 2012 INTERNATIONAL CONFERENCE ON MANIPULATION, MANUFACTURING AND MEASUREMENT ON THE NANOSCALE (3M-NANO) 292-296;
3. Pattern buried oxide in silicon-on-insulator-based fabrication of floppy single-crystal-silicon cantilevers 2011.04
Micro Nano Lett. Vol. 6, No. 4 240-243;
4. Mass-loading effect on quality factor of floppy silicon microcantilever in free air space 2011.02 Micro Nano Lett.
Vol. 6, No. 2 62-65;
5. Al doped poly-Si micro-heater for thermomechanical fabrication of micro/nano structure 2011.01 Guangxue Jingmi
Gongcheng/Optics and Precision Engineering Vol.19 No.1 124-131;
6. Size and mass loading effect on quality factor of single-crystal silicon cantilever in atmosphere 2010.08
Proceedings of SPIE Vol.7544 754462(1-6);
7. Fabrication of cantilevers with high yield for magnetic resonance force microscopy 2010.01 Proc. of 5th IEEE
International Conference on NEMS 633-636
8. 《应用光学试题与解析》 中国科学技术大学出版社 2010.07