为适应我国科学技术的迅猛发展，科学与技术的交叉融合的趋势，加速工程科学研究人才的培养，我校于1978年成立精密机械与精密仪器系，并确定了在理科的氛围中宽口径培养工程研究型人才的方针，强化数理力学基础，强调机、光、电、自动控制和计算机一体化，侧重精密机械与精密仪器。

本系的教学、学科建设和科研工作都是围绕着精密机械与精密仪器的前沿方向展开的。30多年来，本系在精密仪器与机械学科方面已形成了智能机械与机器人、微纳机电系统、光电信息技术与仪器、动态测试与故障诊断、生物医学工程、环境科学与仪器等研究方向。先后承担了国家同步辐射加速器和大天区多目标光谱望远镜两项国家大型科学工程中的有关研究工作，还承担了国家自然科学基金、各部委、大中型企业的有关科研项目。与美国、日本、英国、德国、西班牙、澳大利亚等国学术机构建立了长期的合作研究和人才交流关系。

本系设有机械设计制造及其自动化和测控技术与仪器两个本科专业，培养工学学士；设有精密仪器及机械、测试计量技术及仪器、机械电子工程工学硕士授予点，培养工学硕士；设有机械工程、仪器仪表工程硕士授予点，培养工程硕士；设有精密仪器及机械、测试计量技术及仪器工学博士授予点，培养工学博士。这些专业融合了机械、自动控制、电子技术、计算机技术和光电技术等领域最新成就，是综合性很强的工程技术学科。

本系师资力量雄厚，现有教学与科研人员46人，其中高级职称教员37人（其中博士生导师16人）。另外，还有中科院“所系结合”外聘教授8人。1984年成立了超精密技术研究所；2012年获批成立仪器科学与技术博士后科研流动站。

本系毕业生具有深厚的数理力学基础，熟练掌握外语和光机电应用技术，知识面广，适应能力强。毕业后大多可到高等院校和科研机构工作或进一步深造，或到高新技术产业部门从事机、光、电一体化产品的研制和开发。毕业生深受中国科学院、各部委研究院所、各高校以及大中型企业和高技术公司的欢迎，供不应求。