付绍军

仪器科学与技术学科点博导

国家同步辐射实验室教授级高级工程师





个人简介:

   1977年中国科技大学物理系毕业,同时留校从事教学和科研工作。1984年初从物理系调入国家同步辐射实验室,1998年被聘为教授级高级工程师,2000年担任博士生导师。现任国家同步辐射实验室学术委员会委员,中国科技大学光子技术研究所副所长,《光电子技术与信息》和《光学精密工程》杂志编委。

   1989年起负责建设同步辐射光学实验室,在短波光学、微光学技术和超微细加工技术研究方面取得了一系列成果。率先在国内组织开展了软X射线和真空紫外波段的衍射元件研究工作,研制的软X射线聚焦波带片、软X射线位相型Lnminar光栅和真空紫外全息-离子束刻蚀闪耀光栅已经达到实用水平,替代进口产品使用在同步辐射光束线上;研制的一系列无衬底自支撑的软X射线透射光栅已在惯性约束激光核聚变研究中发挥了重要作用。在国内外学术刊物上发表论文200多篇,获省部级成果奖4项,申请和授权国家发明专利20项。目前承担国家重大科技专项XX专项、军口863等科研项目多项。


研究方向:

1. 衍射光栅技术

2. 微细加工技术


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